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[综合]微机械系统(MEMS)综述 [复制链接]

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离线Admin_MEMS
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2010-09-20
    容:
一、  MEMS概念
二、  MEMS研究背景
三、  MEMS发展史
四、  最近国外MEMS发展的概况
五、  最近国内MEMS发展的概况
六、  MEMS研究内容
七、  MEMS技术分类
八、  MEMS技术的加工工艺
九、  LIGA和准LIGA技术
十、  MEMS最新研究方向
十一、MEMS的最新应用
十二、MEMS的未来
十二、参考文献
描述:微机械系统(MEMS)综述
附件: 微机械系统(MEMS)综述.rar (1628 K) 下载次数:484
希望更多的人喜欢MEMS技术天地
离线joyfunny

只看该作者 沙发   发表于: 2010-09-20
多谢分享!
离线bbsdj

只看该作者 板凳   发表于: 2010-09-25







MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线bbsdj

只看该作者 地板   发表于: 2010-09-25

LIGA技术典型工艺流程
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线wusong
只看该作者 4楼  发表于: 2010-11-07
介绍得很全!谢谢楼主!
离线mems2010

只看该作者 5楼  发表于: 2010-11-07
谢谢诶
离线啊哦怕
只看该作者 6楼  发表于: 2011-10-07
chd
离线xlsprb

只看该作者 7楼  发表于: 2012-02-09
ˋ▂ˊ ˋ0ˊ ˋ︿ˊ ˋωˊ ˋ﹏ˊ ˋ△ˊ ˋ▽ˊ
www.baidu.com
离线dihlak

只看该作者 8楼  发表于: 2012-02-19
谢谢楼主啊,受益匪浅啊!
离线神奇zb

只看该作者 9楼  发表于: 2012-04-17
如果能给大家带来好处也不错。
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