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[版图]Ledit设计掩膜板,前后两次工艺需要对准,那么对准标记该在那里加?又该怎么加? [复制链接]

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离线husanlim
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2014-05-19
在两寸的板子上光刻若干个相同的结构,每个结构部分由光刻完成,剩余部分尺寸较小需要电子束曝光做,那么这前后两次工艺肯定需要对准,问下这个对准标记在哪里找?然后又该怎么加?还有说是两寸板子上的各个相同结构间应该有位置标记,这个又是怎么加的?
离线Admin_MEMS

只看该作者 沙发   发表于: 2014-05-21
通常十字叉就可以了
希望更多的人喜欢MEMS技术天地
离线Admin_MEMS

只看该作者 板凳   发表于: 2014-05-21
设计到芯片的边缘某处
希望更多的人喜欢MEMS技术天地
离线zhoumingxing

只看该作者 地板   发表于: 2014-08-13
在上几楼的基础上最好加个引导线,便于显微镜下快速找到对准图形,因为有些时候你根本找不到你所做出的对准图形在哪里,有了引导线,你就可以知道该往哪个方向找你的对准图形!
离线zhoumingxing

只看该作者 4楼  发表于: 2014-08-13
回 2楼(Admin_MEMS) 的帖子
Admin_MEMS:设计到芯片的边缘某处 (2014-05-21 19:56) 

也不能太靠边缘,毕竟显微镜所到达的区域有限
离线独成林树

只看该作者 5楼  发表于: 2015-10-07


   关注下~~~
离线斯里科拉

只看该作者 6楼  发表于: 2015-12-29



   交流贴。。。。

只看该作者 7楼  发表于: 2017-01-22
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