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GLOBALFOUNDRIES的MEMS项目总监Rakesh Kumar谈MEMS制造以及GF相关业务 [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2014-03-20
GLOBALFOUNDRIES的MEMS制造业务为200mm晶圆代工服务(500纳米~130纳米工艺),地点在新加坡。由于80%的MEMS生产设备是CMOS通用设备,其它20%是MEMS特有的设备。因此通过添加一些设备,在IC代工厂的200mm产线上制造MEMS是完全可行的。
              
当然,MEMS代工是不容易的,全球IC代工厂有200mm产线也很多,但是能做MEMS的公司并不多。我们非常希望能在这个市场上扩大我们的领先优势。进一步讲两点:(1)虽然进入200mm的MEMS代工时间很短,但是我们在十年前就开始生产MEMS了。(2)在MEMS代工上,GLOBALFOUNDRIES有3种业务模式:第一种是采用Foundry StandardProcess(代工厂标准工艺),第二种是Joint Customization Process(联合定制工艺),第三种是Customer Proprietary Process(客户专有工艺)。不管是先进的工艺还是已经成熟的工艺,GLOBALFOUNDRIES都会全力推动,缩短客户的研发周期,加快产品的上市速度,未来2-4年就可以出一款新产品。
          
MEMS发展和CMOS是相似的,只不过MEMS比CMOS的演变慢了25年。IDM厂商一旦看到MEMS的产能不能达到市场需求时,必然会委外生产。目前MEMS产线正逐渐由150mm转向200mm,一些IDM厂商不愿再投入大量资金建设8英寸线,这将促使MEMS代工规模的扩大。
            
200mm晶圆在MEMS制造方面的挑战主要有两个:一是IP保护,因为现在很多IP工艺是属于MEMS设计公司,只不过他们缺乏生产制造能力,因此交给IDM或foundry生产时,如何保护IP就成为非常重要的工作。二是在工艺方面需要不断走向节能环保。
      
目前GLOBALFOUNDRIES主推InvenSense开放的Nasiri制造平台(CMOS-MEMS工艺),非常适合Fabless公司的产品开发。该平台可以生产的MEMS产品有:加速度计、自动对焦执行器、滤波器、燃料电池、陀螺仪、磁传感器、麦克风、晶振、压力传感器、RF开关等。
              
开放成熟MEMS制造平台的好处:(1)成熟的工艺平台能够快速实现创新的设计理念,(2)明显减少产品的上市时间,(3)受益于量产代工厂的工艺可靠性和稳定性,即使是小批量产品也可以保证良率,(4)为fabless/ fablite公司带来额外的收入来源,(5)NF协议解决任何潜在的IP冲突。这将促使MEMS业界由“one product - one process”转向“many products – one process”。

GLOBALFOUNDRIES的MEMS重点:
(1)开发稳定的、可重复使用的MEMS工艺模块;
(2)建设MEMS工艺技术平台以加快工艺开发和产品上市;
(3)通过使用自动化的MEMS工艺工具以提高生产力;
(4)提供一站式“独立”或“CMOS集成”的MEMS解决方案;
(5)高产能、高良率、高质量和高可靠性的制造服务;
(6)可以迅速提高产能以满足消费市场的需求。

GLOBALFOUNDRIES的MEMS项目状态和进展情况:
(1)基础设施建设
* 1级,CMOS兼容的MEMS无尘室
* 100/1000级,专用的MEMS无尘室
* 设备安装/认证:2010年12月
(2)能力
* 湿法和干法Si微细加工
* 工程SOI晶圆
* Poly TSV
* CMOS MEMS集成
* MEMS测量和检测
(3)生产
* 工程样片:2011年3月
* 风险生产:2011年8月
* 预计到2014年产能可达每月15k片晶圆
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线元杂剧了

只看该作者 沙发   发表于: 2014-10-08



  知道了 ~~~
离线r791060132

只看该作者 板凳   发表于: 2014-12-31
牛牛牛牛呀
离线平焦糊糊

只看该作者 地板   发表于: 2015-04-08


   不会刷墙的吧
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