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[扩散]热扩散原理、 [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2011-12-08
扩散掺杂工艺:
  • 气态相源扩散(gas source)
    液态源扩散(liquid source)
    固态源扩散(solid source)
    旋涂源扩散(spin-on-glass)

掺杂源:
  • As (arsenosilica);    
    Sb (antimonysilica);
    B  (borosilica);
    P (phosphorosilica)
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线bbsdj

只看该作者 沙发   发表于: 2011-12-08
doping对于MEMS来说经常使用了 半导体热扩散原理.rar (1034 K) 下载次数:96
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线olyou2

只看该作者 板凳   发表于: 2013-03-04
呵呵,好帖一定要顶,支持
离线wangxinlong0

只看该作者 地板   发表于: 2013-07-18
非常好
离线崇嬿进枝

只看该作者 4楼  发表于: 2013-12-02
我继续顶你!太好的帖子了 支持
离线怎样出去

只看该作者 5楼  发表于: 2014-05-23


  不是很明白!

只看该作者 6楼  发表于: 2014-09-25
不错
离线果聚花发

只看该作者 7楼  发表于: 2014-10-13


  真有如此?
离线m360057712

只看该作者 8楼  发表于: 2015-01-06
大家好好讨论一下,真不错
离线两路口卡

只看该作者 9楼  发表于: 2015-01-26


  真有如此?
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