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[PZT]Microfabrication of Piezoelectric MEMS-瑞士CSEM [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2010-08-25
内容主要涉及Piezoelectric MEMS应用,结构以及工艺
应用包括:Ultrasonic transducers,Linear actuators-Micromirrors,Cantilever for scanning force microscopy,RF switch,SAW等



描述:Microfabrication of Piezoelectric MEMS-瑞士CSEM
附件: Microfabrication of Piezoelectric MEMS.part1.rar (1954 K) 下载次数:169
描述:Microfabrication of Piezoelectric MEMS-瑞士CSEM
附件: Microfabrication of Piezoelectric MEMS.part2.rar (1954 K) 下载次数:172
描述:Microfabrication of Piezoelectric MEMS-瑞士CSEM
附件: Microfabrication of Piezoelectric MEMS.part3.rar (1601 K) 下载次数:170
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线joyfunny

只看该作者 沙发   发表于: 2010-09-20
多谢分享
离线a1919kimo

只看该作者 板凳   发表于: 2011-04-01
thanks for sharing...
离线lcarl
只看该作者 地板   发表于: 2011-05-27
谢谢分享,非常感谢
离线motekxj
只看该作者 4楼  发表于: 2011-08-09
非常的感谢分享资料!
离线followme

只看该作者 5楼  发表于: 2011-11-28
Thanks for sharing good material!
离线徐长青

只看该作者 6楼  发表于: 2012-03-08
真是好人啊~~
离线hbqci

只看该作者 7楼  发表于: 2013-01-21
看的人少,回一下
离线mzhn69

只看该作者 8楼  发表于: 2013-06-15
说的好,一定回复~
离线晨淼云贝

只看该作者 9楼  发表于: 2013-07-02
初来乍到,请多多关照。
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