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[其它]电容式Mems测试工作站 [复制链接]

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离线peakscience
 

产品概述和特点
产品特点:


  • 10Ff-100pF电容测量范围;

  • <1fF rms电容检测分辨率;

  • 超过130kHz动态电容变化量;

  • “In-operation”特性描述;

  • 压敏电阻检测(可选);

  • 最大传感电容:15pF;

  • 精确度在3%以内;

  • 50mV(+/-50V)运行电压;

  • Low-Q时MEMS响应数据。


测试能力:


  • 测试模式:单端和差分;

  • 残余电容;

  • 静态电容变化;

  • 不同静电下激励下的动态电容变化(正弦,方波,三角等其它波形激励);

  • 不同外部同步压力下的动态电容变化(电容,加速度,角度矢量等);

  • 频率扫描。


直接参数提取(无需用户提供其他数据):



  • 电容偏移(对于差分结构的Mems);

  • 吸合电压和释放电压;

  • 固有/本征频率;

  • 品质因子;

  • 波特图。



间接测试(用户需提供一些Mems数据):



  • 机械偏移(对于差分结构的Mems);

  • 表面电荷;

  • 陀螺仪的正交性误差;

  • 断裂强度和杨氏模量的评估;

  • 附着力及表面接触老化。
技术参数
Low-Q时MEMS响应数据
High-Q时MEMS响应数据
非线性MEMS响应数据
CV曲线(pull-in和pull-out)


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