论坛风格切换切换到宽版
  • 3533阅读
  • 0回复

[高校]创新方法——MEMS三维动态图,DHM拍摄 [复制链接]

上一主题 下一主题
离线lynceetec
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2017-10-09
1、MEMS麦克风 2、MEMS悬臂梁 3、惯性传感器 4、MEMS微执行器
[attachment=2318]
原理:全息显微镜DHM采用CCD记录全息图包含物体相位信息,计算机实时重建得到物体实时三维图像。
特点:
1、同时测量面内和离面运动
2、面内运动精度达到1nm
3、超高速动态3D非扫描实时成像
典型用户:北京大学工学院——平面应力鼓膜测试平台
                   清华大学——半导体


快速回复
限100 字节
批量上传需要先选择文件,再选择上传
 
上一个 下一个