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[高校]MEMS表征的新方法——三维动态实时显微 [复制链接]

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只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2017-09-29
MEMS表征的新方法,数字全息显微镜DHM可以对MEMS器件面内和离面运动同步实时跟踪

MEMS动态表征应用案例:1、MEMS麦克风 2、惯性传感器 3、MEMS微执行器 4、MEMS悬臂梁 5、超声传感器 6、微执行器
特点:
对于离面运动的测量达到了MEMS激光测振仪的精度,而对于面内运动的测量精度则远远超过目前市场上其他MEMS分析仪的测量精度,达到了1纳米。

DHM同时检测MEMS器件面内和离面运动,数字全息显微镜在记录全息图时也记录下了图上每个像素点的三维信息,因此能够实现对每个像素点的三维同步实时跟踪,在测量微系统与微机电系统MEMS的多维振动应用上体现了独一无二的优势。
对于离面(Out-of-plane)运动的测量达到了MEMS激光测振仪(也被称为MEMS分析仪)的精度,而对于面内(In-plane)运动的测量精度则远远超过目前市场上其他MEMS分析仪的测量精度,达到了1纳米 。如所示,数字全息显微镜实现了对MEMS器件面内和离面运动同步实时跟踪。数字全息显微镜在频闪模式下还能记录在高频谐振下MEMS的不同模态,如所展示的MEMS悬臂梁不同频率下的谐振模态。

感兴趣的可以联系我,有样机可以进行展示,可以进行样品检测。有很多MEMS应用案例资料可以分享。
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