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[LPCVD]LPCVD生长氮化硅 [复制链接]

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离线cxhqsy
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2017-08-25
请问各位大神哪里可以提供在带金属表面上LPCVD生长氮化硅薄膜的技术啊,金属是钼,要在上面镀上200nm厚的氮化硅
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