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[ICP]选择性刻蚀 [复制链接]

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离线cxhqsy
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2017-07-20
求助,刚开始接触ICP,想问一下大神在干法刻蚀时是否可以只刻蚀长在金属(铂或者鉬)表面的氮化硅而不刻蚀掉金属,如果可以,用什么气体,大概流量是多少?求教。
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