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[材料设备]布鲁克台阶仪测量技术标准(10nm以下薄膜接触式测试) [复制链接]

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离线astyake0309
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2017-05-26
关于布鲁克台阶仪薄膜测试的技术讨论可联系:13122976482

测试技术

探针式表面轮廓测量技术(接触模式)

测量范围

二维表面轮廓测量
可选择三维测量以及数据分析

样品观测

可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1~4mm

探针传感器

低惯性量传感器 (LIS 3)

探针作用力

LIS 3 传感器中 1~15mg

低作用力模式

N-Lite+  低作用力  0.03~15mg

探针选项

探针曲率半径  50nm~25um
高径比针尖(HAR)10um×2um 和200um×20um ;也可以采用客户定制针尖

样品 X/Y 载物台

手动 X/Y(4英寸):100mm*100mm,可手动校平
自动 X/Y(6英寸):150mm*150mm,可手动校平

样品 R/Ɵ 载物台

手动,360度连续旋转
自动,360度连续旋转

计算机系统

64位多核并行处理器,Windows® 7 系统;可选配23英寸平板显示器

软件

Version 64 操作分析软件,应力测量软件,悬臂偏转测试软件;
选配:缝合软件;3D应力分析软件;3D测量软件

隔振系统

多种隔振方案可供选择。

扫描长度范围

55mm (~2英寸)

单次扫描数据采集点

最大120,000

最大样品厚度

50mm (2英寸)

最大晶片尺寸

200mm (8英寸)

台阶高度重复性

<5Å, 1sigma on 0.1μm step

垂直方向扫描范围

1mm (0.039英寸.)

垂直方向分辨率

最高分辨率可达 1Å  (6.55um测量范围内

输入功率

100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

温度范围

可以操作温度为 20 ~ 25°C (68 ~ 77°F)

湿度范围

80%,无凝结

系统尺寸和重量

455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H);
34kg (75lbs.);
隔离罩:550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H);
5.0kg (11lbs.)
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