[高校]华中科技大学微系统研究中心（武汉光电国家实验室微光机电系统研究部） [复制链接]

    华中科技大学微系统研究中心（武汉光电国家实验室微光机电系统研究部）是2002年在留美博士刘胜教授的倡议下成立的，主要为适应MEMS技术的发展需要，由华中科技大学机械学院联合材料学院、光电学院、电信系以及电子系内从事MEMS研究的相关人员和优势资源组成，集中了机械工程、物理、材料学、微电子、光电、IC设计、计算力学等多学科的研究人才，具有很强的科研实力。
                      
      2005年10月，微系统研究中心参与武汉光电国家实验室建设，组建成立微光机电系统研究部。
            
      研究中心多年来一直从事IC/MEMS/LED封装设计、模拟、工艺及装备研究。先后承担了众多国家自然科学基金、863项目、省部级攻关项目，开发了低温阳极键合、感应局部加热、真空封装等工艺技术，研制了多台封装工艺与可靠性测试设备（部分已应用于Motorola，Nokia，Samsung，GE等企业的产品开发过程中），并为东风、奇瑞等企业提供了相关研发产品。目前，中心已成为国内知名的MEMS、LED器件与封装研发基地。

联系方式：
地址：湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号华中科技大学武汉光电国家实验室F101
邮编：430074

研究方向：
半导体照明技术
    微纳制造工艺与装备
    微纳器件与系统

顶一下吧~ 很少见的好帖了

上海通泰化学有限公司是代理美国EPO-TEK产品，在MEMS领域有着较为完整的产品应用推荐，特别在以下几个领域有多年的客户使用经验。
加速传感器、陀螺仪：H20E, 353ND, H72, H77
喷墨打印：301 family, 302-3M, 353ND, H20E, EJ2189, and OG116-31
生物微电系统：符合USP六级医疗认证H20E, H20S and H20E-PFC，353ND and 377 封装
硅麦克风：H20E、TJ2183-LH(99-183)、353ND-T4
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