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[材料设备]氢氟酸气相腐蚀机需求量大吗? [复制链接]

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离线lsw0302
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2016-10-18
我们单位开发的气态氟化氢蚀刻系统已在某单位使用,效果不错,这种设备需求量大吗?有多少单位在用这种设备?


态氟化氢蚀刻系统主要应用于微机电系统 (MEMS)
干法蚀刻工艺,比如大面积挖深槽(洞),悬臂梁等结构。
  本系统采用无水氟化氢蒸汽(VHF)结合无水乙醇蒸汽蚀刻能有效的防止上述现象的发生。由于采取了无水氟化氢气体的蚀刻方法,使得蚀刻结构较小的部件和深腔部件变得非常容易。
  采用PLC和触摸屏人机界面,精密控制温度、流量、压力等工艺参数,加上特殊设计的腔体结构、匀气机构,可以有效地控制反应过程,提高蚀刻均匀性,同时保持较高的选择性。

QQ:574117419
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