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MEMS设计问题 [复制链接]

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离线wuxin3366
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2016-03-22
请教大家一个问题,在MEMS传感器设计中,如果硅片厚度是50um, 想设计一个梳齿,希望梳齿长度是50um,怎么计算梳齿的最小宽度呢?因为它受加工工艺、材料强度、作用力等很多因素限制,所以不太会算。求教
离线阿斌快破

只看该作者 沙发   发表于: 2016-09-26



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