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常用的加热丝材料除了使用Pt,还有哪种? [复制链接]

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离线冰绿音
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2015-10-08
利用溅射做加热丝,之前一直使用Pt,最小宽度尺寸20μm,厚度250nm,但是靶材Pt突然没有了,买不起靶材。。。。求教,还有哪种材料可以代替Pt?
离线Admin_MEMS

只看该作者 沙发   发表于: 2015-10-08
难道你要使用Au,Al温度不高也行呀
希望更多的人喜欢MEMS技术天地
离线jvgahzebh

只看该作者 板凳   发表于: 2017-02-17
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