中智科技助力“ SiTime出货超越1 意法半导体在消 日本震后一周年

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基于SOI基底的微加工工艺 [复制链接]

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离线Admin_MEMS

只看楼主倒序阅读使用道具楼主发表于: 2010-06-05

基于SOI基底的微加工工艺：包括6中体硅工艺，其中一种就是SOI MUMPs工艺；另外的工艺可以用来制造大倾斜角度的MEMS旋转镜

描述:SOI Micromachining
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SOI Micromachining.pdf (551 K) 下载次数:208

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离线joyfunny

只看该作者沙发发表于: 2010-09-20

不错!
多谢楼主分享!!!

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离线redshanghai

只看该作者板凳发表于: 2011-03-22

不错!
多谢楼主分享!!!

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离线廉颇老矣

只看该作者地板发表于: 2011-08-17

感谢！

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离线imems

只看该作者 4楼发表于: 2011-08-18

谢谢。

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离线yty7

只看该作者 5楼发表于: 05-06

希望里面能有对高阻硅的详细介绍

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