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MEMS wafer test solution [复制链接]

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离线alpha_qian
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2015-03-24
对于MEMS sensor的测试目前主要集中在FT测试,尤其像惯性类的MEMS sensor。
惯性类的sensor如accelorometer,gyroscope都需要外在的激励,如加速度变化,角速度变化去给sensor施加激励以产生信号,而传统的prober无法做到让wafer变化角度和加速等条件。也就不能对wafer进行晶圆级别的测试。
实验室级别的sensor测试一般以测算谐振频和计算品质因数为主要参考参数。
Solidus公司推出的STI3000测试系统可以帮助在wafer级别自动测出谐振频率,以及品质因数等。
并且可以测到nA级别的漏电流和pF级别的电容值。
ATE测得的频率响应如下:

对数据做FFT变换

离线simon

只看该作者 沙发   发表于: 2015-03-26
现在有能转角的prober了.
离线alpha_qian

只看该作者 板凳   发表于: 2015-03-27
回 1楼(simon) 的帖子
simon:现在有能转角的prober了.  (2015-03-26 16:29) 

呵呵,Simon 是你呀.
离线coventorware

只看该作者 地板   发表于: 2015-03-27
考察过,看起来挺好呀,就是报价太高了
离线alpha_qian

只看该作者 4楼  发表于: 2015-04-03
回 3楼(coventorware) 的帖子
coventorware:考察过,看起来挺好呀,就是报价太高了 (2015-03-27 14:23) 

兄台是做什么的,在哪家单位啊,我们这里有台机器,有兴趣可以来看看
离线小小梦园

只看该作者 5楼  发表于: 2015-04-27
好专业,做工艺的人表示看不懂

离线屌过女丝

只看该作者 6楼  发表于: 2015-05-11


  不敢相信哦
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