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[综合]MEMS入门级资料An Introduction to MEMS (Micro-electromechanical Systems) [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2011-01-04
这是个MEMS入门级的资料,目录:


Contents

1.    Introduction

2.    Micro-electromechanical Systems (MEMS)
2.1   What is MEMS?
2.2   Definitions and Classifications
2.3   History
2.4   Applications
2.4.1    Established MEMS Applications
2.4.2   New MEMS Applications
2.5   MEMS Market
2.6   Miniaturization Issues

3.    MEMS Fabrication Methods
3.1   Photolithography
3.2   Materials for Micromachining
3.2.1    Substrates
3.2.2    Additive Films and Materials
3.3   Bulk Micromachining
3.3.1    Wet Etching
3.3.2    Dry Etching
3.4   Surface Micromachining
3.4.1    Fusion Bonding
3.5   High-Aspect-Ratio-Micromachining
3.5.1    LIGA
3.5.2    Laser Micromachining
3.6   Computer Aided Design
3.7   Assembly and System Integration
3.8   Packaging
3.8.1    Multi-Chip Modules
3.8.2    Passivation and Encapsulation
3.9   Foundry Services

4.    MEMS Transducers
4.1   Mechanical Transducers
4.1.1    Mechanical Sensors
4.1.2    Mechanical Actuators
4.2   Radiation Transducers
4.2.1    Radiation Sensors
4.2.2    Radiation (Optical) Actuators
4.3   Thermal Transducers
4.3.1    Thermal Sensors
4.3.2    Thermal Actuators
4.4   Magnetic Transducers
4.4.1    Magnetic Sensors
4.4.2    Magnetic Actuators
4.5   Chemical and Biological Transducers
4.5.1    Chemical and Biological Sensors
4.5.2    Chemical Actuators
4.6   Microfluidic Devices

MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线bbsdj

只看该作者 沙发   发表于: 2011-01-04
MEMS入门级资料An Introduction to MEMS (Micro-electromechanical Systems)下载:
描述:MEMS入门级资料An Introduction to MEMS (Micro-electromechanical Systems)
附件: MEMS入门级资料An Introduction to MEMS (Micro-electromechanical Systems).pdf (1512 K) 下载次数:285
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线soodo
只看该作者 板凳   发表于: 2011-01-05
谢谢分享
1条评分
Admin_MEMS 铜币 +5 欢迎观临!谢谢 2011-01-05
离线清风明月

只看该作者 地板   发表于: 2011-01-08
好东西啊
一笑白首问苍穹
离线nbuzs

只看该作者 4楼  发表于: 2011-01-09
入门级的好资料
离线当爱时
只看该作者 5楼  发表于: 2011-01-14
我得看看
离线a1919kimo

只看该作者 6楼  发表于: 2011-03-28
thanks for sharing...
离线xlsprb

只看该作者 7楼  发表于: 2012-02-09
ㄟ(▔▽▔)ㄏㄟ(▔▽▔)ㄏㄟ(▔▽▔)ㄏ
www.baidu.com
离线ckkcet

只看该作者 8楼  发表于: 2012-02-15
呵呵,看大家评论如何
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离线mizyhe

只看该作者 9楼  发表于: 2012-06-05
Thanks a lot,
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