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问下,TiN的应力能调节到几百兆pa以下吗 [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2015-02-12
问下,TiN的应力能调节到几百兆pa以下吗?

有什么好的调节工艺方式?调Power吗?
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线公台颐

只看该作者 沙发   发表于: 2015-06-28
我又回复了
离线drlaser

只看该作者 板凳   发表于: 2016-04-09
精密微加工激光设备
         1.多种陶瓷基片(氧化铝,氮化铝,氧化锆,氧化镁,氧化铍)以及
          厚薄膜电路基板,LTCC,HTCC,生瓷带,微集成电路,微波电路,天线模板,
          滤波器,无源集成器件和其他多种半导体材料的精密微加工。高功率LED行业
          的DPC,COB以及透明陶瓷等多种基板的精密切割划线和打孔。

             2.  激光适合加工各种不同种类的PCB材料,例如:FR4型覆铜箔板、涂覆铝金属层的PET膜、陶瓷、微波基材TMM、Duorid和PTFE。在加工柔性基材和敏感基材时,激光直接成型技术优势更明显,不用与材料接触,就能进行光蚀,因此更可靠,不会对基材产生损害。

      激光直接大面积剥离铜层不伤基底材料(软基,硬基均可)  汪先生 13419504901

只看该作者 地板   发表于: 2017-05-04
应该可以
离线wdgbj88

只看该作者 4楼  发表于: 05-27
GugU.sO交易 ~ 想到的100%都有卖的噢!!
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