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[Dry]BOSCH-Process [复制链接]

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离线dqraul
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2015-01-24
哪位大神能帮忙简单说下各向异性干刻蚀的BOSCH-Process方法。德语是Zeit-multiplexes tiefes anisotropes Si-Ätzen (DRIE)„BOSCH-Prozess“.有相关资料也好,谢谢了!
离线dqraul

只看该作者 沙发   发表于: 2015-01-24
好吧,我找到一份相关的资料,有同样需要的看看吧
http://www.docin.com/p-233380098.html
离线Admin_MEMS

只看该作者 板凳   发表于: 2015-01-25
看看SPTS的DRIE资料,有没有有用的,其实就是对硅一边SF6刻蚀,一边F基Polymer保护侧壁。
附件: SPTS_DRIE presentation.part1.rar (1954 K) 下载次数:20
希望更多的人喜欢MEMS技术天地
离线Admin_MEMS

只看该作者 地板   发表于: 2015-01-25
其他附件
附件: SPTS_DRIE presentation.part2.rar (1954 K) 下载次数:23
附件: SPTS_DRIE presentation.part3.rar (1954 K) 下载次数:20
希望更多的人喜欢MEMS技术天地
离线Admin_MEMS

只看该作者 4楼  发表于: 2015-01-25
其他附件
附件: SPTS_DRIE presentation.part4.rar (1954 K) 下载次数:19
附件: SPTS_DRIE presentation.part5.rar (282 K) 下载次数:19
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离线bbsdj

只看该作者 5楼  发表于: 2015-01-25
xiexie

MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线dqraul

只看该作者 6楼  发表于: 2015-01-25
回 4楼(Admin_MEMS) 的帖子
太感谢了。还想请教一下,底部的各向异性Polymer刻蚀的化学式是什么
离线dqraul

只看该作者 7楼  发表于: 2015-01-26
确实SB了,现在明白了。
离线borger

只看该作者 8楼  发表于: 2015-02-05
学习了
离线方面快居

只看该作者 9楼  发表于: 2015-05-30


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