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[其它]中科院微系统所MEMS压力传感器,流量传感器 [复制链接]

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离线hellolxj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2014-11-14
    上海微技术工业研究院拥有领先的MEMS传感器设计、工艺、测试、封装和应用开发专家,以及ASIC设计和电路设计方面的专业团队,拥有包括4英寸MEMS研发线、8英寸“超越摩尔”研发线和8英寸CMOS量产线在内的全方位产学研平台,同时依托于上海微系统与信息技术研究所的长期MEMS研发实践,在MEMS设计、仿真、微纳兼容制造技术、先进封装工艺,以及系统集成方面都有很强的技术能力,对开发集成化、智能化、网络化传感器系统有丰富的经验,在汽车电子等方面取得了成功的应用。


汽车电子MEMS传感器
    该产学研平台在单硅片单面体硅微机械加工技术方面有独到的技术,通过对(111)单晶硅片的晶向和晶面分布的特殊性研究,结合单晶硅各项异性湿法腐蚀特性,首次阐明了单硅片单面单晶硅薄膜的成型机理,在单晶硅表面按一定规则设计一系列微型释放窗口,通过释放窗口可以实现在单晶硅衬底内部选择性横向刻蚀,进而实现单晶硅不同尺寸和厚度的薄膜释放,见下图。在此技术基础上,成功研制出一款单硅片单面加工的压阻式压力传感器。


不同尺寸单晶硅单面释放工艺         压力传感器结构示意图
    针对不断增长的消费市场需求,工研院协同中科院上海微系统所,和合作伙伴协同创新,针对市场潜力大的传感器产品进行开发,整合工艺流程和供应链资源,以实现高性价比传感器产品的大规模生产,替代进口产品,并推动MEMS新应用市场的形成。


流量传感器仿真                           流量传感器芯片和器件新
离线平静随时

只看该作者 沙发   发表于: 2015-05-28


   HOHO~~~~~~
离线完华黄几

只看该作者 板凳   发表于: 2015-05-30


   HOHO~~~~~~
离线西江闻新

只看该作者 地板   发表于: 2015-06-01



   浮云啊  不是浮云吧。。
离线倒孔换个

只看该作者 4楼  发表于: 2016-01-03


   关注下~~~
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