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问下,Polyimide如何释放干净? [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2014-02-24
问下,Polyimide如何释放干净?MEMS结构面积还好的情况下?
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线emtp

只看该作者 沙发   发表于: 2014-03-11
ICP蚀刻
离线bbsdj

只看该作者 板凳   发表于: 2014-03-12
搞好了,
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线鲜花玲玲

只看该作者 地板   发表于: 2014-06-06


  先支持了再说
离线以红果果

只看该作者 4楼  发表于: 2014-09-04



   交流贴。。。。
离线就天快乐

只看该作者 5楼  发表于: 2014-10-12


  不是很明白!
离线长袖善舞

只看该作者 6楼  发表于: 2015-07-05

    真的这么神奇?
离线beernv

只看该作者 7楼  发表于: 2015-11-30
我来看看!谢谢
离线完到全达

只看该作者 8楼  发表于: 2016-01-07


  果断秒过,走人
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