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金属玻璃在MEMS中的应用 [复制链接]

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离线horseking

只看楼主倒序阅读使用道具楼主发表于: 2010-10-30

金属玻璃由于其特殊的性质,可以被加工成微小的零部件,尺度从几十纳米到毫米量级,成型后具有良好的表面质量,导电,有些成分的材料还具有优良的软磁性能,比硅钢片的性能优良,在微尺度可以成型具有高长径比的零件,且具有优异的力学性能,请问这类材料在MEMS中会有怎样的应用呢,它的应用主要可以往哪些方面发展呢?

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离线Admin_MEMS

只看该作者沙发发表于: 2010-10-30

哇塞，还真是第一次听说呢

希望更多的人喜欢MEMS技术天地

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离线bbsdj

只看该作者板凳发表于: 2010-10-30

应该是封装上用的比较多吧，金属封装呀，玻璃基板啊

MEMS技术天地：http://memst.csmnt.org.cn/

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离线horseking

只看该作者地板发表于: 2010-10-30

回 1楼(Admin_MEMS) 的帖子

这类材料在特定的工艺下,可以实现像塑料一样的成型,且成型精度高,例如通过对硅基体进行电子束光刻以后刻蚀形成特定形状的模具,然后在该模具上可以对金属玻璃进行"压铸",成型微纳米器件的性能优良!

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离线horseking

只看该作者 4楼发表于: 2010-10-30

回 2楼(bbsdj) 的帖子

封装?可否说的具体一些?是说这种材料做基体材料?

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离线bbsdj

只看该作者 5楼发表于: 2010-10-30

理解错了，以为是金属与玻璃呢；原来是金属玻璃材料

MEMS技术天地：http://memst.csmnt.org.cn/

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离线horseking

只看该作者 6楼发表于: 2010-10-30

回 5楼(bbsdj) 的帖子

呵呵,它是金属与玻璃两者的结合,既有金属的光泽和物理性能,又有玻璃的结构与性质!

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离线天生丽质132

只看该作者 7楼发表于: 2011-02-05

说的是不错就是有点模糊不够详细

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离线清风明月

只看该作者 8楼发表于: 2011-03-08

那不就是直接敷铜陶瓷基板（DBC）嘛

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离线xlsprb

只看该作者 9楼发表于: 02-09

ˋ▂ˊ ˋ０ˊ ˋ︿ˊ ˋωˊ ˋ﹏ˊ ˋ△ˊ ˋ▽ˊ

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