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[微陀螺仪]MEMS陀螺仪真空封装技术-Getter [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2012-09-09
MEMS陀螺仪通过驱动活动部件发生共振,然后当垂直于共振方向上发生转动时,科里奥利力就会诱发第三方向上振动。这个传感振动是非常微弱的,只有当处于共振状态时才可能有比较好的信噪比。由此可见,共振是MEMS陀螺仪能正常工作的一个很重要的条件。

一般高性能的MEMS陀螺仪的驱动Q值大于15000,传感Q值大于1000。要达到这样的Q值,振动阻尼必须很小,MEMS必须处在真空当中。即使把MEMS封在真空中,由于机械结构在活动过程中会产生碎末,这些碎末又会影响MEMS的共振Q值。因此,在MEMS空腔中必须添加粒子吸收层(getter)。图一是硅微管共振器示意图。在悬臂上方有一层粒子吸收材料。


图一、有粒子吸收层的硅微管共振器

目前,SAES的粒子吸收薄膜技术是一流的,飞思卡尔和意法半导体均采用其技术。
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线askfns

只看该作者 沙发   发表于: 2012-09-26
强烈感谢楼主
离线月德好

只看该作者 板凳   发表于: 2012-11-06
谢谢分享哈
离线munang

只看该作者 地板   发表于: 2012-11-07
其中 “碎末” 还有 “粒子吸收” 是有点翻译错误吧, getter 是吸气剂,目的是吸收器件内部放出的气体 维持高真空,不是颗粒
MEMS gyro

只看该作者 4楼  发表于: 2012-12-16
谢谢你啊,好帖子不顶不行
离线长茗丁涛

只看该作者 5楼  发表于: 2013-04-11
谢谢楼主  。。。。。。
离线晓月清风

只看该作者 6楼  发表于: 2013-11-19
先支持了再说
离线莲雪帅帅

只看该作者 7楼  发表于: 2014-01-26
没来得急看,应该不错,先帮你顶
离线霓虹过分

只看该作者 8楼  发表于: 2014-08-15


  这是什么?
离线wade

只看该作者 9楼  发表于: 2014-08-20
怎样Getter(吸气剂)的吸气性能?有些什么检测设备或指标呢?
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