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大家做MEMS器件仿真主要使用那些软件? [复制链接]

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离线bbsdj
 

只看楼主 倒序阅读 使用道具 楼主   发表于: 2012-08-12
大家做MEMS器件仿真主要使用那些软件?
CoventorWare、IntelliSuite、Ansys还是其他的?MEMS是涉及学科比较广泛的,可能还有其它软件,例如仿真电磁的、流体的等等
MEMS技术天地:http://memst.csmnt.org.cn/
离线windzr

只看该作者 沙发   发表于: 2012-08-14
目前在用 comsol
离线windzr

只看该作者 板凳   发表于: 2012-08-14
楼主主要用的什么?
离线Admin_MEMS

只看该作者 地板   发表于: 2012-08-15
回 2楼(windzr) 的帖子
windzr:楼主主要用的什么? (2012-08-14 21:09) 

CoventorWare以及ansys workbench
希望更多的人喜欢MEMS技术天地
离线windzr

只看该作者 4楼  发表于: 2012-08-15
回 3楼(Admin_MEMS) 的帖子
Admin_MEMS:CoventorWare以及ansys workbench (2012-08-15 07:19) 

我刚开始用comsol不久,请教一下在工艺上用什么软件呢?比如版图设计,刻蚀之类的

只看该作者 5楼  发表于: 2012-08-18
好,谢谢你,大家都需要的好帖
离线caotianjie

只看该作者 6楼  发表于: 2012-09-23
自己编一些软件,计算梁和圆板在静电力作用下的变形和吸合电压。自己的软件很方便,可以计算吸合后的整个变形,电容变化,体积变化,用优化方法批量的计算吸合电压。
离线德檩芝冰

只看该作者 7楼  发表于: 2013-04-02
希望大家踊跃发言,我顶先
离线发统程轩

只看该作者 8楼  发表于: 2013-05-10
相信楼主的说,非常支持你
离线wqmcb

只看该作者 9楼  发表于: 2013-06-30
说的好,一定回复~
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