微机电系统MEMS技术典籍 《微光机电系统》

微光学仪器研究领域:微光学系统(Micro-Optics)、微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)。(阅读全文)

微光机电MOEMS系统与应用技术

基本上囊括了现在比较成熟或者比较常见的光学MEMS器件,是个非常好的资料(阅读全文)